无图案晶圆的定位和检测方法、装置、设备及存储介质

本发明涉及半导体检测技术领域，公开了一种无图案晶圆的定位和检测方法、装置、设备及存储介质，该方法通过点光谱测距传感器对焦待检测无图案晶圆，根据所述点光谱测距传感器和检测相机的位置关系，换算所述检测相机的对焦位置，根据所述检测相机的对焦位置，基于所述检测相机对所述待检测无图案晶圆进行对焦，实现对焦清晰；根据机台中心位置、相机倍率的视野图大小，生成Die的位置关系，获得待检测无图案晶圆的MAP图，基于所述MAP图，通过对焦后的检测相机采集待检测无图案晶圆的视野图，基于所述视野图，采用局部阈值分割算法进行缺陷检测，获得缺陷结果，提高了缺陷检测效率和定位准确性。