指向性MEMS麦克风

本申请公开了一种指向性MEMS麦克风，包括：线路板和金属后盖，围合形成第一腔体和第二腔体；全向麦克风单元，包括设置在所述第一腔体内的第一MEMS芯片和第一ASIC芯片，以及连通所述第一腔体与外界的第一声孔；指向性麦克风单元，包括设置在所述第二腔体内的第二MEMS芯片和第二ASIC芯片，以及连通所述第二腔体与外界的第二声孔和第三声孔；其中，所述全向麦克风单元和所述指向性麦克风单元串联连接。本申请具有以下优点：1、利用MEMS元件形成一指向性麦克风单元，同时形成一全向麦克风单元，两者串联连接，可以实现比单个指向性麦克风更好的效果；2、结构上更紧凑，且两个麦克风单元彼此位置相对固定。